- SEMI European MEMS & Imaging Sensor Summit 在 18 9 月 2024
等离子体专家
经过15年的发展创新，Trymax在等离子设备和工艺方面积累了丰富的经验, 全球NEO系统装机量已超过250台套，Trymax解决方案包括：
- 高性能的机台
- 高可靠性的机台
- 较低的运营维护成本
- 仅需要有限的维护
- 较小的占地面积
- 单一机台同时支持多规格晶圆尺寸和衬底材料，
- 采用了最先进的组件、接口和软件
广泛的工艺应用
Trymax拥有广泛的等离子技术储备，以满足不同客户和工艺的需求。
- 光刻胶的去除
- 高剂量离子植入后光刻胶的剥离
- 表面预处理
- 非关键性等离子各向同性蚀刻
- DRIE或TSV后 聚合物的去除
- 牺牲层去除
- 各种的表面处理
- 光刻胶紫外光固化
- 晶圆带电电荷的紫外光消除
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