NEO 2000UV 是

NEO 2000UV 是

NEO2000UV 是Trymax公司的先进的紫外线固化及电荷消除机台,它拥有市场上最先进的紫外线固化及电荷消除技术。NEO2000UV拥有的卓越性能完全满足于当今半导体制造商的需求。并且,我们的NEO2000UV 会让客户在最合理的预算中获得最大的产能。

所有规格及特性

特征


-基于最先进的EtherCAT®数控技术Trymax操作平台
-双制程工艺腔室
-可变光强的控制系统
-2个拥有卡塞大小感应器的开放式上料台或SMIF上料台。
-4轴传送机械臂
-前后双屏幕控制系统。
-表面静电消除器
-CE标准认证
-基于SECS-II的客户端主机控制系统

应用


-离子注入前的光刻胶固化
-蚀刻前的光刻胶固化(Poly-Si, Oxide, Metal)
-选择性的提升
-为更小的线宽做光刻胶固化
-薄膜磁头夹层绝缘层的形成
-其他种类的半导体应用比如化合物半导体玻璃处理

其他选项


-晶圆位置校准器
-晶圆扫描
-冷却台
-条形码扫描器